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EU-weite Ausschreibung
FBH-01.2 ALE-Trockenätzanlage einschließlich Nebenleistungen (Installation, Wartung, Support)
- Teilnahmefrist
- 13.10.2026
- Auftraggeber
- Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
- Ort
- Berlin, Berlin
- Laufzeit
- 11.03.2027 – 11.03.2028
- Verfahren
- Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb
- Veröffentlicht
- 13.09.2026
Leistungsbeschreibung
Für die Umsetzung aktueller Forschungs- und Entwicklungsarbeiten wird eine ALE-Trockenätzanlage zur Bearbeitung von III-V-Halbleitern benötigt. Die Anlage soll hochpräzise Ätzprozesse im Nanometerbereich ermöglichen.
Branchen
Automatisch zugeordnet anhand der CPV-Codes und des Titels.
Quelle: Bekanntmachung 9a80205f-f0b5-4b49-89a8-6cbb54e94cf4-01 im Datenservice Öffentlicher Einkauf (CC0). Alle Angaben ohne Gewähr – rechtlich maßgeblich sind allein die Originalbekanntmachung und die Vergabeunterlagen.