Frist abgelaufen

Laserlithographie

Angebotsfrist
03.08.26, 10:00 Uhr
Auftraggeber
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Ort
Ulm, Baden-Württemberg
Veröffentlicht
03.07.2026
Verfahren
Offenes Verfahren

Originalunterlagen ↗

Leistungsbeschreibung

Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Es entsteht eine komplette Prozesstechnologieket-te vom Wafersubstrat bis zum Quantenchip die in einem von der Universität Ulm zur Verfügung gestellten Reinraum etabliert wird. Dort werden durch das Institut für Quantentechnologien u.a. Technologien für kompakte Dampfzellen so wie Komponenten für Quantenspeicher gebaut, basierend auf der Technologie kalter Atom Gase. Für die Ausstattung des Reinraums wird ein Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von kalten Atomgasen und verwandten Quantentechnologien erweitert. Im Rahmen dieser Ausschreibung wird eine weitere Anlage für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Dies dient der direkten Lithographie auf dem Zielsubstrat mit hoher Auflösung sowie der Herstellung von UV-Lithographiemasken mittels Laserlithographie. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt.

Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Eignungsanforderungen

  • Nachweis über die Eintragung ins Handelsregister: Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des Fristendes nicht älter als drei Monate sein) oder ein vergleichbares Dokument. Ausländische Bieter können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender Unterlagen gemäß den lokalen …
  • Bieter müssen eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme je Schadensereignis in Höhe von mindestens 1.000.000€ für Personenschäden und 1.000.000€ für Sach- und Vermögensschäden nachweisen. Der Nachweis wird erbracht durch Eigenerklärung im Eignungsformblatt sowie die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder einer schriftlichen Erklärung …
  • Sprache, in der die Angebote und Eignungsunterlagen verfasst sein müssen. Das Angebot muss in all seinen Bestandteilen in deutscher/englischer Sprache abgefasst sein.
  • Firmenprofil/Vorstellung des Unternehmens Der Bieter hat ein Firmenprofil mit folgenden Angaben den Angebotsunterlagen beizufügen: • Datum der Unternehmensgründung • Standorte des Unternehmens • Rechtsform des Unternehmens • Registergericht und Registernummer • Umsatzsteuer Identifikationsnummer (USt-ID) • Identifikationsnummer (Leitweg-ID) • Einstufung als KMU • Einstufung als …
  • Eigenerklärung „BMWK-Russland“: Die VO 2024/1865 erweitert die VO 833/2014, in der eine Wiederausfuhr nach Russland und die Wiederausfuhr zur Verwendung in Russland untersagt wird, auch auf Belarus. Der Bieter erklärt mit der Eigenerklärung gemäß Art. 5k der VO 833/2014, dass sich seine Geschäftstätigkeiten ebenfalls nicht auf Belarus erstrecken.
  • Eigenerklärung GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen)

Zuschlag / Ergebnis

Los LOT-0001: Zuschlag erteilt (Gewinnername nicht veröffentlicht) für 1 € · 11.08.2026.

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Archivierte Bekanntmachung. Maßgeblich sind die Originalbekanntmachung und Vergabeunterlagen.