Frist abgelaufen

Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

Teilnahmefrist
20.03.26, 12:00 Uhr
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Ort
Erlangen, Sachsen
Veröffentlicht
19.02.2026
Laufzeit
01.12.2026 – 31.12.2026
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Originalunterlagen ↗

Leistungsbeschreibung

The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

Eignungsanforderungen

  • Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine des Unternehmens - Anzahl der Mitarbeiter - was wird hergestellt/welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder. Firmenprofil / Profile of your company Darstellung der Firma: Mindestangaben: - Gründungsjahr - wichtige Meilensteine …
  • Referenzen / References Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung), nicht älter als drei Jahre ***ACHTUNG***: Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen die Vergleichbarkeit …
  • Umsatz der letzten 3 Jahre Turnover for the last 3 years Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle geforderten Geschäftsjahre anzugeben, so hat es dies begründet anzuzeigen. Soweit möglich ist ein geeigneter Nachweis zur Neugründung beizufügen. Die Zahlen zum Umsatz sind in diesem Fall ab dem Zeitpunkt der Gründung des Unternehmens anzugeben. …
  • 1_C_Eigenerklärung_Russland-Sanktionen_VO 833-2014_08.25 or 1_C_Self-declaration_Sanctions on Russia_VO 833-2014_08.25
  • 1_C_Selfdeclaration (123-124 GWB)

Zuschlag / Ergebnis

Los LOT-0001: Zuschlag erteilt (Gewinnername nicht veröffentlicht) für 1 €.

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Archivierte Bekanntmachung. Maßgeblich sind die Originalbekanntmachung und Vergabeunterlagen.