Frist abgelaufen

IMS Chips - Vergabe einer Belackungs- und Entwicklungsanlage für Wafer

Teilnahmefrist
30.06.26, 12:00 Uhr
Auftraggeber
Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Ort
Stuttgart, Baden-Württemberg
Veröffentlicht
29.05.2026
Laufzeit
24 Monate
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

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Leistungsbeschreibung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150mm und 200mm Wafern mit wechseln-den Fotolacken für die iLine- und E-Beam-Lithografie. Optional ist ein Vollwartungsvertrag mit Uptime-Garantie anzubieten. Die maximale Lieferzeit beträgt 18 Monate nach Zuschlag.

Eignungsanforderungen

  • 1) Vorbemerkung (a) Die Eignung ist für jedes Mitglied einer Bewerbergemeinschaft gesondert nachzuweisen. Soweit nachfolgend nichts Abweichendes geregelt wird, sind daher alle Eignungsnachweise von jedem Mitglied einer Bewerbergemeinschaft vorzulegen. Ein Bewerber kann sich zum Nachweis seiner Eignung auf andere Unternehmen stützen, ungeachtet des rechtlichen Charakters der zwischen ihm und …
  • (1) Eigenerklärung über den Jahresumsatz in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren einschließlich des Jahresumsatzes mit vergleichbaren Leistungen; (2) Eigenerklärung über das Bestehen einer Produkthaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme in Höhe von mind. EUR 3 Mio. für Personenschäden für jede einzelne Person und mindestens EUR 5 Mio. für Sachschäden oder Eigenerklärung …
  • (1) Eigenerklärung über die Beschäftigtenanzahl und die Zahl seiner Führungskräfte in den vergangenen drei abgeschlossenen Geschäftsjahren; (2) Eigenerklärung über das Erbringen vergleichbarer Leistungen in den vergangenen fünf Jahren (seit 1.6.2021). Mindestreferenzen: Lieferung und Installation von fünf vergleichbaren Belackungs-/Entwicklungsanlage zur Prozessierung von 150 mm und 200 mm …

Zuschlag / Ergebnis

Ein verifizierbares Zuschlagsergebnis liegt uns noch nicht vor.

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Archivierte Bekanntmachung. Maßgeblich sind die Originalbekanntmachung und Vergabeunterlagen.