Frist abgelaufen

300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132) - PR1184859-3460-P

Teilnahmefrist
18.05.26, 08:00 Uhr
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Ort
Dresden-Moritzburg, Sachsen
Veröffentlicht
16.04.2026
Laufzeit
19.07.2027 – 29.10.2027
Verfahren
Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb

Originalunterlagen ↗

Leistungsbeschreibung

300 mm BEOL large field exposure system, fully automated (IZM-132)

Eignungsanforderungen

  • Referenz von mindestens 5 Geräten / Projekten mit vergleichbarer technologischer Funktionalität im i-Line Lithographie Bereich nicht älter als 3 Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Pflichtangabe 300mm Wafergröße ja/nein, Kundennennung). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Kunden nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere …
  • Darstellung der Firma: Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht -> Alle Angaben bitte in Textform; KEINE Links oder Bilder.
  • 1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014
  • Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre

Zuschlag / Ergebnis

Ein verifizierbares Zuschlagsergebnis liegt uns noch nicht vor.

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Archivierte Bekanntmachung. Maßgeblich sind die Originalbekanntmachung und Vergabeunterlagen.